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polaris953

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】椭偏仪测膜厚问题!急!

我知道单面抛光的SiC上长的SiO2膜的厚度可以用椭偏仪来测。

可是不知道如果SiC是双面抛光的(透明的),它上面长的SiO2膜的厚度能用椭偏仪测吗?

哪位高手指点啊,不胜感激
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