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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 质量控制与检验 » 射频功率和质量流量计相互有影响吗？
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理工小伟

木虫 (著名写手)

[求助] 射频功率和质量流量计相互有影响吗？ 已有1人参与

磁控溅射射频功率超过200W时，质量流量计自动关闭

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磁控溅射镀膜工艺

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精于勤 荒于嬉
1楼 2018-11-28 08:11:59
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
会的，如果设备和电源的屏蔽做不好，MFC以及真空计都会受电磁波影响的。

一方面，看看电源能否加强屏蔽；另一方面MFC做屏蔽，你试试包上铝箔纸试试会不会改善。
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2018-11-28 10:50:17
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理工小伟

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-11-28 10:50:17
会的，如果设备和电源的屏蔽做不好，MFC以及真空计都会受电磁波影响的。

一方面，看看电源能否加强屏蔽；另一方面MFC做屏蔽，你试试包上铝箔纸试试会不会改善。

好，谢谢，以前确实没有考虑过辐射的影响

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精于勤 荒于嬉
3楼2018-11-28 12:20:29
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at2046

铜虫 (初入文坛)
检查下射频屏蔽做好没有，或者考虑增加隔离电源。

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4楼2019-01-14 10:11:25
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L小懒虫

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-11-28 10:50:17
会的，如果设备和电源的屏蔽做不好，MFC以及真空计都会受电磁波影响的。

一方面，看看电源能否加强屏蔽；另一方面MFC做屏蔽，你试试包上铝箔纸试试会不会改善。

射频发生器与检测计之间有金属隔离也会产生影响？

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5楼2019-01-14 20:55:21
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理工小伟

木虫 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by L小懒虫 at 2019-01-14 20:55:21
射频发生器与检测计之间有金属隔离也会产生影响？
...

可能有，我们也没检测，直接换的流量计，换成手动的

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精于勤 荒于嬉
6楼2019-01-14 21:21:03
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L小懒虫

木虫 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 理工小伟 at 2019-01-14 21:21:03
可能有，我们也没检测，直接换的流量计，换成手动的
...

手动不太方便提供不同流量需求的镀膜吧

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7楼2019-01-15 06:38:45
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理工小伟

木虫 (著名写手)
可以，就是流量计是旋钮式的

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精于勤 荒于嬉
8楼2019-01-15 08:56:32
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wtm_AE

金虫 (小有名气)
旋钮式的应该是浮子流量计，射频电源配置哪家，多大功率？
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QQ：1723046531
9楼2019-01-16 10:03:45
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