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PECVD起辉光时伴随着电晕放电的“小火花”是什么原因呢 已有1人参与
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常温下通入50sccm甲烷50w功率，气压开始是500mtorr，起辉后电极板边缘有类似小火花存在。后来逐步把气压调低直到辉光熄灭，还是有小火花。这种情况偶尔会出现，似乎在高温下出现频率低一些，请教了一些前辈，有人说是电晕放电气压过高了，但我把气压调低也没什么效果。大家有什么看法呢？ 发自小木虫IOS客户端 |
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禁虫 (正式写手)
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2楼2019-01-08 16:15:04
