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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » PECVD起辉光时伴随着电晕放电的“小火花”是什么原因呢
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Atom He

新虫 (初入文坛)

[求助] PECVD起辉光时伴随着电晕放电的“小火花”是什么原因呢 已有1人参与

常温下通入50sccm甲烷50w功率，气压开始是500mtorr，起辉后电极板边缘有类似小火花存在。后来逐步把气压调低直到辉光熄灭，还是有小火花。这种情况偶尔会出现，似乎在高温下出现频率低一些，请教了一些前辈，有人说是电晕放电气压过高了，但我把气压调低也没什么效果。大家有什么看法呢？

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1楼 2018-11-23 12:06:52
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QQ550303332

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
2楼2019-01-08 16:15:04
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