| 查看: 929 | 回复: 1 | ||
[求助]
PECVD起辉光时伴随着电晕放电的“小火花”是什么原因呢 已有1人参与
|
|
常温下通入50sccm甲烷50w功率，气压开始是500mtorr，起辉后电极板边缘有类似小火花存在。后来逐步把气压调低直到辉光熄灭，还是有小火花。这种情况偶尔会出现，似乎在高温下出现频率低一些，请教了一些前辈，有人说是电晕放电气压过高了，但我把气压调低也没什么效果。大家有什么看法呢？ 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
修改论文，如何借助其他力量？
已经有4人回复
-
中山大学潘越教授课题组2027级推免硕士研究生招生 新增一个专业医学技术名额
已经有21人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有225人回复
-
哈尔滨工程大学国家级青年人才-27年申请考核制博士招生（材料、化学、生物医学专业）
已经有13人回复
-
HRTEM/原位TEM/HRSTEM检测｜价格优·周期短·可加急
已经有0人回复
-
大家平时也可以交流下
已经有1人回复
-
ELSEVIER旗下投稿decision in process后with editor，应该如何理解
已经有45人回复
QQ550303332
禁虫 (正式写手)
|
本帖内容被屏蔽 |
2楼2019-01-08 16:15:04