| 查看: 844 | 回复: 1 | ||
[求助]
PECVD起辉光时伴随着电晕放电的“小火花”是什么原因呢 已有1人参与
|
|
常温下通入50sccm甲烷50w功率，气压开始是500mtorr，起辉后电极板边缘有类似小火花存在。后来逐步把气压调低直到辉光熄灭，还是有小火花。这种情况偶尔会出现，似乎在高温下出现频率低一些，请教了一些前辈，有人说是电晕放电气压过高了，但我把气压调低也没什么效果。大家有什么看法呢？ 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？
已经有1人回复
-
求助两种BiOBr晶体的CIF文件（卡片号为JCPDS 09-0393与JCPDS 01-1004 ）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有293人回复
-
哈尔滨工程大学材化学院国家级青年人才-26年硕士招生
已经有0人回复
-
求助Fe-TCPP、Zn-TCPP的CIF文件，或者CCDC号
已经有0人回复
-
河北大学-26年秋季入学申请考核制-化学博士1名
已经有0人回复
-
XPS/?λXPS
已经有0人回复
QQ550303332
禁虫 (正式写手)
|
本帖内容被屏蔽 |
2楼2019-01-08 16:15:04