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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 能帮忙推荐下膜厚测试仪（台阶仪，椭圆偏振仪），主要用于教学
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alicewin

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1楼 2018-11-21 15:24:38
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ekeyan

捐助贵宾 (知名作家)
我们这里可以测椭偏仪，需要请站内私信留言联系我们

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2楼2018-11-21 19:28:54
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alicewin

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3楼2018-11-21 20:10:09
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gyxzby

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
关键是看你测量的材料，透明程度，像一些不透明金属薄膜一般用四点探针电阻测量方法确定膜层厚度，如果透明材料一般有科磊的，Filmetrics，椭偏仪属于那种精度非常高的一种，一般是作为膜厚的厚度标定标准使用，意思就是他的测量精准度要比其他类型光学膜厚仪的精准度要高，所以椭偏仪可以作为比它精准度底的定标使用。这取决于你需要的材料要求，多向供应商了解一些精度范围即可
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4楼2018-11-23 11:06:19
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alicewin

禁虫 (正式写手)
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5楼2018-11-23 21:43:06
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讼乘xy

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我们这里可以测膜厚，需要请看我这个账号里面的广告帖子或者私信联系我。
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6楼2018-11-29 11:10:15
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不加冰的可乐

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

台阶仪的话dektakXT还是可以的，重复性5埃，从10nm到几百微米效果都不错，软件界面适合教学演示，可以站内我
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7楼2018-12-20 11:52:18
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xidanLZH

捐助贵宾 (初入文坛)

【答案】应助回帖

您好，KLA的台阶仪重复性是4A，精度0.1A，精度更高，稳定性更好，推荐您使用KLA的台阶仪。
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须知参差多态乃是幸福之源
8楼2019-03-13 15:11:15
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px_ht

新虫 (小有名气)
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欢迎关注”盖亚易拾“
9楼2021-07-18 15:32:38
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