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jichenxi0730

铁虫 (小有名气)

[交流] 光栅结构的特征尺寸具体是指什么?已有1人参与

想问一下,在许多文献里看到有光栅结构的特征尺寸的说法,它和波长的关系关乎运用不同的模型进行计算。想问一下,这个特征尺寸是指光栅常数呢?还是指沟槽的宽度呢?还是指某种尺寸的比例?有没有大神知道?

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光刻电子

禁虫 (正式写手)

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2楼2018-11-21 15:07:20
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