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新虫 (正式写手)

[求助] 如何降低率点击在PDMS上的电阻？已有1人参与

在经过高温处理（110摄氏度1晚上）PDMS上磁控溅射铝，电阻还是很大。磁控溅射的温度不是非常高，铝不会严重氧化。如何能降低绿的电阻?

1楼 2018-11-20 17:46:40

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金虫 (正式写手)

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PDMS是有机物？
1. 在沉积Al前，用IPA进行彻底清洗表面；
2. 沉积过程中，样品在真空腔体内放置久一点，真空高一点再镀膜。
3. 沉积工艺选择低功率低气压。

擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119

2楼2018-11-23 10:35:08

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