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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告

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彩虹之约123

新虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
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帖子: 445
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虫号: 3599432
注册: 2014-12-14
专业: 功能与智能高分子

[求助] 如何降低率点击在PDMS上的电阻？已有1人参与

在经过高温处理（110摄氏度1晚上）PDMS上磁控溅射铝，电阻还是很大。磁控溅射的温度不是非常高，铝不会严重氧化。如何能降低绿的电阻?

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磁控溅射镀膜工艺

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1楼 2018-11-20 17:46:40

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)

应助: 62 (初中生)
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红花: 16
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虫号: 1370716
注册: 2011-08-17
性别: GG
专业: 其他无机非金属材料

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

PDMS是有机物？
1. 在沉积Al前，用IPA进行彻底清洗表面；
2. 沉积过程中，样品在真空腔体内放置久一点，真空高一点再镀膜。
3. 沉积工艺选择低功率低气压。

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