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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 如何降低率点击在PDMS上的电阻？
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彩虹之约123

新虫 (正式写手)

[求助] 如何降低率点击在PDMS上的电阻？ 已有1人参与

在经过高温处理（110摄氏度1晚上）PDMS上磁控溅射铝，电阻还是很大。磁控溅射的温度不是非常高，铝不会严重氧化。如何能降低绿的电阻?
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磁控溅射镀膜工艺

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1楼 2018-11-20 17:46:40
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
PDMS是有机物？
1. 在沉积Al前，用IPA进行彻底清洗表面；
2. 沉积过程中，样品在真空腔体内放置久一点，真空高一点再镀膜。
3. 沉积工艺选择低功率低气压。
赞一下 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2018-11-23 10:35:08
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