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qinghui8552

铜虫 (小有名气)

[交流] 【请教】如何做一个pattern

在硅片表面做个pattern出来,想先做个分子印章,请问有谁做过相关方面的工作吗?
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mmsabina

铁杆木虫 (正式写手)


gshsheng(金币+1,VIP+0):thanks 4-26 08:51
pattern方法很多,常规的如光学曝光,刻蚀出pattern结构,在Si片上通过掩模如Au,PS 等,后刻蚀。。。。。
2楼2009-04-25 17:09:50
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qinghui8552

铜虫 (小有名气)

这个方法已经试过,行不通!光刻之后还要在把催化剂反应上去,而所用的溶剂就会把刻蚀的图形给溶解了!
3楼2009-04-25 20:33:43
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大头鱼1702

捐助贵宾 (正式写手)

PHD


gshsheng(金币+1,VIP+0):谢谢 4-26 08:51
分子印章没做过,我做过光刻呵呵
我用的紫外正胶做的,不知道你的分子印章如何做
PDF不是好东西
4楼2009-04-25 20:47:16
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qinghui8552

铜虫 (小有名气)

就是不知道如何做啊!
5楼2009-04-26 13:58:21
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