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【求助】三氯氢硅尾气吸收的方案
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请提供三氯氢硅尾气处理方案及设备 一、要求：1、回收HCl制盐酸或气体。 2、回收硅烷。 3、其它气体放空。 4、提供工艺、设备，负责安装、调试。 二、指标要求： 1、放空尾气达到或接近排放标准。 2、设备、工艺投资小、运行可靠，运行成本较低。 三、尾气成份及流量 1、H2≈69% HCl≈23% SiHCl3≈4% N2≈4% (体积百分比)。 2、300立方米/小时（常压）。 四、参考处理意见 1、溶剂吸收硅烷、水吸收HCL。 2、活性碳吸收硅烷、HCL排放H2，再分步解吸冷冻、回收HCL气体。 3、变压吸附排放H2，再分步解吸冷冻、回收HCL气体。 [ Last edited by zhjf on 2009-7-22 at 10:34 ] |
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8楼2009-07-03 10:57:20
2楼2009-04-25 07:40:13
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maxuehui111(金币+1):谢谢参与
maxuehui111(金币+3,VIP+0):理论上可以，生产上难以实现。能否将“刮盘式过滤器”的原理或图片发来？ 5-2 21:42
对吻鱼(金币+1,VIP+0):鼓励交流~~~欢迎常来化工版~~~ 7-6 17:36
maxuehui111(金币+1):谢谢参与
maxuehui111(金币+3,VIP+0):理论上可以，生产上难以实现。能否将“刮盘式过滤器”的原理或图片发来？ 5-2 21:42
对吻鱼(金币+1,VIP+0):鼓励交流~~~欢迎常来化工版~~~ 7-6 17:36
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SiHCl3你还要回收再用不？ 如果不再用可以先反应成HCL，这样更方便处理。SiHCl3易分解，所有这个处理也比较方便。需要注意的是，不知道你们厂的生产工艺是采用的高压还是中低压？你所需要处理的气体压力是？是常压吗？ 预算是多少？我有这样一个想法： SiHCl3用水分解，HCL＋SIO2 HCL是肯定要回收的，SIO2用过滤器。 过滤器的方案就有2种了，问你预算就是为了这个 1.是用袋式过滤器，300方可能要用个4袋的。一次投入少但是这个有耗材过滤袋（一般是一次性使用，换袋频率由杂质的多少决定）每次换袋需要人工打开过滤器。不建议使用 2.用自清式的机械过滤器（全自动，不是溶液反冲）。这个过滤器可以叫做刮盘式过滤器，由电机提供动力，刮盘在过滤器内部自动清洗，并将杂质送到集杂口。在集杂口可以连接一个储槽由于此过滤器式全密封的所有在打开排污口前杂质是全存集在过滤器下部的集杂口，较为干燥。 |
3楼2009-04-27 11:12:59
4楼2009-05-02 21:39:05
