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maxuehui111

铜虫 (初入文坛)

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专业: 无机合成和制备化学

[交流] 【求助】三氯氢硅尾气吸收的方案

请提供三氯氢硅尾气处理方案及设备
一、要求：1、回收HCl制盐酸或气体。
2、回收硅烷。
3、其它气体放空。
4、提供工艺、设备，负责安装、调试。
二、指标要求：
1、放空尾气达到或接近排放标准。
2、设备、工艺投资小、运行可靠，运行成本较低。
三、尾气成份及流量
1、H2≈69% HCl≈23% SiHCl3≈4%
N2≈4% (体积百分比)。
2、300立方米/小时（常压）。
四、参考处理意见
1、溶剂吸收硅烷、水吸收HCL。
2、活性碳吸收硅烷、HCL排放H2，再分步解吸冷冻、回收HCL气体。
3、变压吸附排放H2，再分步解吸冷冻、回收HCL气体。

[ Last edited by zhjf on 2009-7-22 at 10:34 ]

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