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【求助】三氯氢硅尾气吸收的方案
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请提供三氯氢硅尾气处理方案及设备 一、要求：1、回收HCl制盐酸或气体。 2、回收硅烷。 3、其它气体放空。 4、提供工艺、设备，负责安装、调试。 二、指标要求： 1、放空尾气达到或接近排放标准。 2、设备、工艺投资小、运行可靠，运行成本较低。 三、尾气成份及流量 1、H2≈69% HCl≈23% SiHCl3≈4% N2≈4% (体积百分比)。 2、300立方米/小时（常压）。 四、参考处理意见 1、溶剂吸收硅烷、水吸收HCL。 2、活性碳吸收硅烷、HCL排放H2，再分步解吸冷冻、回收HCL气体。 3、变压吸附排放H2，再分步解吸冷冻、回收HCL气体。 [ Last edited by zhjf on 2009-7-22 at 10:34 ] |
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tommyliu
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14楼2009-07-20 16:16:55