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【请教】做纳米压痕时热漂很严重，如何解决？
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| 做纳米压痕时，老是打不到想要打的地方，偏移较严重，一般是什么原因引起的？扫描范围的大小有一定的影响，扫的越小越准确，如果在扫描范围不变的情况下，有没有其他的办法来减小热漂移呢？ |
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yhw9102
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