| 查看: 1181 | 回复: 6 | |||
[交流]
镀膜过程中喷点、潮斑(花斑)的成因及消除方法
|
|||
|
镀膜过程中喷点、潮斑(花斑)的成因及消除方法 真空镀膜的过程中有时会产生喷点及潮斑(花斑)，这些喷点、潮斑(花斑)极大的影响了薄膜的品质，降低产品的合格率。本文将对喷点、潮斑(花斑)的形成原因以及消除方法作一探讨。 一．喷点形成的原因 镀膜过程中产生喷点主要有以下几种原因: 1.镀膜材料纯度不高，含杂质较多,预熔过程中无法将这些杂质去除,蒸镀过程中杂质溅上工件表面形成喷点。 2.材料较为潮湿,预熔时电子枪光斑不能将表面的材料全部熔化,在蒸镀过程中也容易产生喷点(这种情况在用国产电子枪镀制MgF2及一些直接升华的材料时较易发生)。 3.镀膜前对材料进行预熔时不够充分,蒸镀过程中材料里的细小颗粒溅上工件表面形成喷点。 4.镀膜过程中,电子枪束流过大引起的材料飞溅产生的喷点。 二．潮斑形成的原因: 1.清洗液配比不好,含有较多水份,清洗后工件表面留有残迹,镀膜后形成花斑。 2.镀制两个面以上的工件时,一面镀制完成,清洗第二面时,镀制完的一面受到污染,在第二面镀膜后形成花斑。 3.工件本身含有的水份（工件白片制作过程细解）,在蒸镀前的烘烤过程中逸出,蒸镀后形成潮斑。 4.镀膜夹具在烘烤过程中会有水汽以及其它废气排出,蒸镀后在工件表面形成潮斑且对镀膜后的光学特性产生影响。 三. 针对以上喷点、潮斑(花斑)的成因,在生产中采取了以下一些措施以消除喷点、潮斑(花斑): 1.选择可靠的材料供应商,并对购买的每批材料在投入使用前先做一测试,判定材料的可靠性。 2.规范材料的领用、保管,(干燥缸,干燥剂)保证材料不受潮,材料性质无变化。 3.规范镀膜操作,严格执行预熔、蒸镀的操作规程。蒸镀前的材料预熔一定要彻底,镀制某些较厚的膜层时可以采用多次预熔的方法消除喷点。 4.规范清洗操作,加强清洗后的检查,提高清洗质量,消除因清洗而产生的潮斑(花斑)。 5.调整烘烤温度,消除烘烤原因产生的潮斑。 6.规范镀膜夹具的管理。每次投入使用前,夹具需要先经过清洗、烘烤(300度,3小时以上)才能投入生产。 7.设计镀膜夹具时,尽量采用在真空室内放气量小的材料,同时可采取夹具表面镀Ni的方法降低夹具的放气量,消除由此产生的潮斑(花斑)。 通过以上这些措施,镀膜过程中产生的喷点、潮斑(花斑)可以得到非常有效的控制。  |
回复此楼» 猜你喜欢
浙江理工大学余厚咏教授团队招生（申请考核的博士3名 ，公平竞争）
已经有0人回复
-
浙江理工大学省杰青余厚咏教授团队招生（申请考核的博士3名 ，公平竞争）
已经有1人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有241人回复
-
浙江理工大学省杰青余厚咏教授团队补录招生（申请考核的博士3名 ，公平竞争）
已经有0人回复
-
寻求行程超2.4米，可按美标测几何公差，佛山狮山一带的三坐标设备
已经有2人回复
-
寻找做兼职的医学同学，长期的（长三角：血管介入医疗器械方面兼职）
已经有43人回复
-
树脂浇铸体出现纹理问题是什么原因？
已经有5人回复
-
工作党想考在职研究生
已经有21人回复
-
文件夹闪关闭
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
今天看到省基金挂了，希望国基面上能中吧
+5/575
-
2026年生物学、大数据与信息工程国际会议 (BSBIE 2026)
+1/422
-
北京信息科技大学机电工程学院硕士研究生招生线上宣讲会-8月16日
+5/310
-
东南大学杰青/海优团队招聘催化方向博士后
+1/100
-
东南大学杰青/海优团队招聘催化方向博士后
+1/100
-
毛细管流变仪，DSC, 力学性能，注塑、挤出、平板硫化机等成型与测试
+1/88
-
希望这篇论文能中
+2/52
-
哈工大（深圳）何自开团队诚招化学工程与技术专业博士生
+1/24
-
论文祈福
+1/15
-
韩国釜山大学储能电池与功能材料实验室诚招博后（电池/电化学/器件制备/MOF合成）
+1/14
-
西北工业大学 生科院 秦绪军课题组诚招博士后、博士/硕士研究生【长期有效】
+1/14
-
同济大学环境学院肖倩课题组2026年补充招收推免生
+1/6
-
关于Ghaffar-Parkins催化剂催化氰基水解为酰胺的问题
+1/6
-
27推免-广州医科大学封红亮教授招收精神医学应用心理学推免生
+1/5
-
北理工集成电路杰青团队 | 诚招科助理
+1/4
-
论文万能框架
+1/4
-
国家级人才团队诚聘生物信息相关专业的科研助理
+1/3
-
夏尽秋来，蓄力沉淀，静待硕果成文
+1/2
-
苏州大学能源学院管大秦课题组诚聘博士后及招收博士/硕士研究生
+1/2
-
中科院理化所热声热机团队招聘电气工程专业(电机方向)博士后/特别研究助理
+1/2
简单回复
kingluck2楼
2018-11-15 14:41
回复
pvdmaterial(金币+1): 谢谢参与
2018-11-15 16:05
回复
pvdmaterial(金币+1): 谢谢参与
nono20094楼
2018-11-15 17:12
回复
pvdmaterial(金币+1): 谢谢参与
·
nono20095楼
2018-11-15 17:12
回复
·
youngen6楼
2018-11-15 17:48
回复
pvdmaterial(金币+1): 谢谢参与
yanbodr7楼
2018-11-15 19:19
回复
pvdmaterial(金币+1): 谢谢参与
， 发自小木虫Android客户端
