| 查看: 1106 | 回复: 6 | |||
[交流]
镀膜过程中喷点、潮斑(花斑)的成因及消除方法
|
|||
|
镀膜过程中喷点、潮斑(花斑)的成因及消除方法 真空镀膜的过程中有时会产生喷点及潮斑(花斑)，这些喷点、潮斑(花斑)极大的影响了薄膜的品质，降低产品的合格率。本文将对喷点、潮斑(花斑)的形成原因以及消除方法作一探讨。 一．喷点形成的原因 镀膜过程中产生喷点主要有以下几种原因: 1.镀膜材料纯度不高，含杂质较多,预熔过程中无法将这些杂质去除,蒸镀过程中杂质溅上工件表面形成喷点。 2.材料较为潮湿,预熔时电子枪光斑不能将表面的材料全部熔化,在蒸镀过程中也容易产生喷点(这种情况在用国产电子枪镀制MgF2及一些直接升华的材料时较易发生)。 3.镀膜前对材料进行预熔时不够充分,蒸镀过程中材料里的细小颗粒溅上工件表面形成喷点。 4.镀膜过程中,电子枪束流过大引起的材料飞溅产生的喷点。 二．潮斑形成的原因: 1.清洗液配比不好,含有较多水份,清洗后工件表面留有残迹,镀膜后形成花斑。 2.镀制两个面以上的工件时,一面镀制完成,清洗第二面时,镀制完的一面受到污染,在第二面镀膜后形成花斑。 3.工件本身含有的水份（工件白片制作过程细解）,在蒸镀前的烘烤过程中逸出,蒸镀后形成潮斑。 4.镀膜夹具在烘烤过程中会有水汽以及其它废气排出,蒸镀后在工件表面形成潮斑且对镀膜后的光学特性产生影响。 三. 针对以上喷点、潮斑(花斑)的成因,在生产中采取了以下一些措施以消除喷点、潮斑(花斑): 1.选择可靠的材料供应商,并对购买的每批材料在投入使用前先做一测试,判定材料的可靠性。 2.规范材料的领用、保管,(干燥缸,干燥剂)保证材料不受潮,材料性质无变化。 3.规范镀膜操作,严格执行预熔、蒸镀的操作规程。蒸镀前的材料预熔一定要彻底,镀制某些较厚的膜层时可以采用多次预熔的方法消除喷点。 4.规范清洗操作,加强清洗后的检查,提高清洗质量,消除因清洗而产生的潮斑(花斑)。 5.调整烘烤温度,消除烘烤原因产生的潮斑。 6.规范镀膜夹具的管理。每次投入使用前,夹具需要先经过清洗、烘烤(300度,3小时以上)才能投入生产。 7.设计镀膜夹具时,尽量采用在真空室内放气量小的材料,同时可采取夹具表面镀Ni的方法降低夹具的放气量,消除由此产生的潮斑(花斑)。 通过以上这些措施,镀膜过程中产生的喷点、潮斑(花斑)可以得到非常有效的控制。  |
回复此楼» 猜你喜欢
西华大学（成都）-材料学院低碳循环高分子材料团队-招收研究生（专硕/学硕）
已经有11人回复
-
天津高校航空材料先进制造技术与装备课题组拟接收调剂硕士研究生5-6名。
已经有0人回复
-
有机高分子材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有62人回复
-
294 英二数二物化 求调剂
已经有6人回复
-
数据驱动机械智能故障诊断技术研讨
已经有0人回复
-
A区一本交叉课题组，机械电子信息通信等交叉方向
已经有0人回复
-
国家杰青低维材料与器件力学团队2026年招收博士研究生
已经有10人回复
-
接
已经有0人回复
-
北京工业（211）物光课题组收博士
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
持续创业者，A8离异男征婚，事业遇到瓶颈，寻找创业生活伴侣
+1/485
-
南京医科大学生殖医学与子代健康国重实验室-董飞宏课题组-学术硕士招生
+1/95
-
物理学 调剂
+1/90
-
天津理工大学国家杰青王铁课题组招收2026年博士研究生
+1/85
-
山东师范大学有机化学专业胡忠燕老师课题组招收2026届硕士研究生以及调剂生
+1/40
-
河南工学院诚聘优秀凝聚态物理和电子科学与技术相关专业硕博研究生
+2/40
-
欢迎交流咨询
+1/37
-
0854电子信息调剂，闽南师大光电芯片研发实验室，柯少颖教授课题组，集成电路
+1/36
-
招收专业代码08的学硕！
+1/25
-
南京林业大学-国家级青年人才团队 招2026级申请考核制博士（合成化学、植物化学方向）
+1/14
-
新加坡国立大学药学系化学生物学课题组招PhD
+1/13
-
2026年西南科技大学功能涂层课题组简介
+1/11
-
南京林业大学有机功能分子实验室博士生招生启事
+1/8
-
26年申博自荐-计算机视觉
+1/7
-
招收化工与材料学科点研究生
+1/4
-
北京高校副校长团队招收机械类，环境类学硕和专硕
+1/4
-
南方科技大学生命科学学院基础免疫与微生物学系招收博士后
+1/3
-
2026年浙江清华长三角研究院智慧能源中心招聘博士后-电气方向
+1/2
-
浙江大学高纯分离团队诚聘博士后
+1/2
-
中国科学院地球化学研究所招科研助理
+1/1
简单回复
kingluck2楼
2018-11-15 14:41
回复
pvdmaterial(金币+1): 谢谢参与
2018-11-15 16:05
回复
pvdmaterial(金币+1): 谢谢参与
nono20094楼
2018-11-15 17:12
回复
pvdmaterial(金币+1): 谢谢参与
·
nono20095楼
2018-11-15 17:12
回复
·
youngen6楼
2018-11-15 17:48
回复
pvdmaterial(金币+1): 谢谢参与
yanbodr7楼
2018-11-15 19:19
回复
pvdmaterial(金币+1): 谢谢参与
， 发自小木虫Android客户端
