| 查看: 1121 | 回复: 6 | |||
[交流]
镀膜过程中喷点、潮斑(花斑)的成因及消除方法
|
|||
|
镀膜过程中喷点、潮斑(花斑)的成因及消除方法 真空镀膜的过程中有时会产生喷点及潮斑(花斑)，这些喷点、潮斑(花斑)极大的影响了薄膜的品质，降低产品的合格率。本文将对喷点、潮斑(花斑)的形成原因以及消除方法作一探讨。 一．喷点形成的原因 镀膜过程中产生喷点主要有以下几种原因: 1.镀膜材料纯度不高，含杂质较多,预熔过程中无法将这些杂质去除,蒸镀过程中杂质溅上工件表面形成喷点。 2.材料较为潮湿,预熔时电子枪光斑不能将表面的材料全部熔化,在蒸镀过程中也容易产生喷点(这种情况在用国产电子枪镀制MgF2及一些直接升华的材料时较易发生)。 3.镀膜前对材料进行预熔时不够充分,蒸镀过程中材料里的细小颗粒溅上工件表面形成喷点。 4.镀膜过程中,电子枪束流过大引起的材料飞溅产生的喷点。 二．潮斑形成的原因: 1.清洗液配比不好,含有较多水份,清洗后工件表面留有残迹,镀膜后形成花斑。 2.镀制两个面以上的工件时,一面镀制完成,清洗第二面时,镀制完的一面受到污染,在第二面镀膜后形成花斑。 3.工件本身含有的水份（工件白片制作过程细解）,在蒸镀前的烘烤过程中逸出,蒸镀后形成潮斑。 4.镀膜夹具在烘烤过程中会有水汽以及其它废气排出,蒸镀后在工件表面形成潮斑且对镀膜后的光学特性产生影响。 三. 针对以上喷点、潮斑(花斑)的成因,在生产中采取了以下一些措施以消除喷点、潮斑(花斑): 1.选择可靠的材料供应商,并对购买的每批材料在投入使用前先做一测试,判定材料的可靠性。 2.规范材料的领用、保管,(干燥缸,干燥剂)保证材料不受潮,材料性质无变化。 3.规范镀膜操作,严格执行预熔、蒸镀的操作规程。蒸镀前的材料预熔一定要彻底,镀制某些较厚的膜层时可以采用多次预熔的方法消除喷点。 4.规范清洗操作,加强清洗后的检查,提高清洗质量,消除因清洗而产生的潮斑(花斑)。 5.调整烘烤温度,消除烘烤原因产生的潮斑。 6.规范镀膜夹具的管理。每次投入使用前,夹具需要先经过清洗、烘烤(300度,3小时以上)才能投入生产。 7.设计镀膜夹具时,尽量采用在真空室内放气量小的材料,同时可采取夹具表面镀Ni的方法降低夹具的放气量,消除由此产生的潮斑(花斑)。 通过以上这些措施,镀膜过程中产生的喷点、潮斑(花斑)可以得到非常有效的控制。  |
回复此楼» 猜你喜欢
硅肥中硅含量测定
已经有1人回复
-
硅溶胶和硅酸钠水玻璃干燥后的结构为什么出现明显差异？
已经有6人回复
-
无机非金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有91人回复
-
太原科技大学材料科学与工程学院招收金属材料类博士一名
已经有19人回复
-
279软件工程求调剂
已经有0人回复
-
太原科技大学材料科学与工程学院招收金属材料类博士一名
已经有18人回复
-
太原科技大学材料科学与工程学院招收金属材料类博士一名
已经有0人回复
-
特殊环境先进金属材料山西省重点实验室接收硕士研究生调剂信息
已经有0人回复
-
特殊环境先进金属材料山西省重点实验室接收硕士研究生调剂信息
已经有0人回复
-
华北理工大学-矿业工程学院接收调剂研究生
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
国家“千人计划”青年项目获得者团队最后2人07、08等学科研究生调剂
+1/285
-
延安大学化学与化工学院接收化学专业调剂生，4月12日下午复试（工科、理学均可调剂）
+1/191
-
蛋白质稳定性之小分子保护剂选择
+1/190
-
2026年“海洋生物”硕士研究生调剂需求信息—— 河北科技师范学院，海洋科学研究中心
+1/190
-
【科研项目】破解电池安全密码：揭秘国内首款火灾爆炸与抑制一体化实验舱
+1/90
-
专硕（资源与环境、土木水利），接收跨专业，工学、理学都行！
+1/89
-
★★爆★★河北大学分析化学专业，强势学科，捡漏了，0703化学考生均可填报调剂
+1/89
-
武汉工程大学联合培养招收硕士（食品、环境和化学相关专业）
+1/88
-
哈尔滨工程大学核动力装置研究所招收1-2名博士生
+1/88
-
江西师大化学工程学院调剂今晚0点开放！ 缺额100个，速冲！
+1/87
-
太原科技大学硕士
+1/85
-
福建理工大学招收环境、化工、能源动力、新能源科学与工程、材料、机械等学科背景
+1/37
-
不能理解
+1/28
-
省重点实验室招收调剂生（一志愿07开头专业），海洋生物专业名额充足
+1/25
-
河南农业大学理学院樊良鑫课题组招收化学专业硕士调剂生（过国家线即可）
+1/15
-
大湾区大学李红庚课题组招聘研究助理
+1/7
-
福建理工大学学硕08开头还有调剂名额
+1/6
-
齐齐哈尔大学李莉课题组诚招2026级考研调剂生（学硕和专硕）
+1/4
-
河南理工大学化学化工学院招收材料、化工类专业调剂研究生
+1/2
-
北大口腔招人工智能、生物再造科研助理（优秀者可留校或推荐读博）
+1/2
简单回复
kingluck2楼
2018-11-15 14:41
回复
pvdmaterial(金币+1): 谢谢参与
2018-11-15 16:05
回复
pvdmaterial(金币+1): 谢谢参与
nono20094楼
2018-11-15 17:12
回复
pvdmaterial(金币+1): 谢谢参与
·
nono20095楼
2018-11-15 17:12
回复
·
youngen6楼
2018-11-15 17:48
回复
pvdmaterial(金币+1): 谢谢参与
yanbodr7楼
2018-11-15 19:19
回复
pvdmaterial(金币+1): 谢谢参与
， 发自小木虫Android客户端
