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shubaqingguo

金虫 (正式写手)

[求助] 目前除了磁控溅射、热蒸发,还有没有别的工艺做可以制备大面积的SiO2薄膜?已有1人参与

目前除了磁控溅射、热蒸发,还有没有别的工艺做可以制备大面积的SiO2薄膜?目前溶胶凝胶法能够制备1m*1m的SiO2薄膜吗?能做到不开裂吗?
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perry_ping

新虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

热氧化工艺可以啊
2楼2018-12-07 09:41:29
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