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[×ÊÔ´] ¡¾×ÊÔ´¡¿Chemical Vapour Deposition Precursors, Processes and Applications

Chemical Vapour Deposition: Precursors and Processes
By L. M. Hitchman, Anthony C. Jones, Michael L. Hitchman
Published by Royal Society of Chemistry, 2009
ISBN 0854044655, 9780854044658

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