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金虫 (正式写手)

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专业: 微/纳机械系统

[交流] 【讨论】关于纳米薄膜的制备及表征问题

各位虫友，我有一些关于纳米薄膜方面的问题，请各位不吝赐教

1. ultra-thin film，如4-5nm厚度的功能薄膜，目前一般用溅射工艺来制备，但是这个薄膜厚度、表面均匀性等方面如何表征？因为薄膜厚度及表面均匀性对器件的影响极大。

2. 好多文献都提到，对TEM, SEM等图像进行傅里叶变换，从而提取有用信息。我对这个不懂，各位能不能解释下，傅里叶变化后能提取什么样的信息，能否推荐一些相关方面的书籍

3。有没有虫友在做超导纳米线单光子检测器件方面的研究，大家可以共同探讨下

多谢各位

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