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smallstar007

金虫 (著名写手)

[交流] 【请教】想做硅片表面的电化学,电极该如何做?

想做硅片表面的电化学,电极该如何做?请高手们指点,谢谢
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将科研进行到底!
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yhp1008

铁杆木虫 (正式写手)

硅片电极接触不好是个难题,我的硕士论文就是硅片抛光中的电化学
3楼2009-04-21 16:54:55
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fish001

木虫 (小有名气)

说都不够详细,不知道如何回答!
天道酬勤!
2楼2009-04-21 08:31:39
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smallstar007

金虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by yhp1008 at 2009-4-21 16:54:
硅片电极接触不好是个难题,我的硕士论文就是硅片抛光中的电化学

我也是做CMP电化学的,不过不是做硅片,是硅片上长的其它薄膜,能否请教一下,你们是如何做的呢?
将科研进行到底!
4楼2009-04-21 21:05:17
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