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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 资源共享 » 【资源】直流磁控溅射制备铝薄膜的工艺研究【已搜索无重复】
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csu533

木虫 (小有名气)

[交流] 【资源】直流磁控溅射制备铝薄膜的工艺研究【已搜索无重复】

应虫友要求继续发溅射靶材的资料:
http://www.namipan.com/d/%e7%9b%b4%e6%b5%81%e7%a3%81%e6%8e%a7%e6%ba%85%e5%b0%84%e5%88%b6%e5%a4%87%e9%93%9d%e8%96%84%e8%86%9c%e7%9a%84%e5%b7%a5%e8%89%ba%e7%a0%94%e7%a9%b6.pdf/308eb8b99d2ddd56021eb8342e7a18eacb55825462e30500

[ Last edited by csu533 on 2009-4-20 at 20:12 ]
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1楼 2009-04-20 20:09:34
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zxf905

木虫 (正式写手)
谢谢！有其它溅射靶材的也需要！！！
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2楼2009-04-21 08:24:38
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csu533

木虫 (小有名气)
版主不让发，说文献不是资源
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3楼2009-04-21 20:04:38
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shechun111

木虫 (正式写手)
有没有溅射Ti薄膜的 也发一个学习一下
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4楼2009-04-24 16:19:59
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昙英

木虫 (正式写手)
交流啊！铜、钛、铝、钽都是超大规模集成电路需要加强的镀膜材料~~~
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5楼2009-04-27 08:16:12
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