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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 请教磁控溅射里关于共晶靶材的问题
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学习君cb

至尊木虫 (知名作家)
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请教磁控溅射里关于共晶靶材的问题
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求虫友帮助，如果我做了一个两种金属（假如金属A和B）形成的AB共晶靶材，在溅射时，靶材上的金属粒子是以AB的成分一块溅射出来 ，还是A粒子和B粒子会分开溅射出来，在此散金求答

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1楼 2018-11-13 23:45:02
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L小懒虫

木虫 (著名写手)
★
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都有的，不要简单认为单个原子溅射，各种情况(原子团，离子，电子)都会有，只是改变工艺参数各种粒子的比例不一样而已

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23楼2018-11-14 11:36:13
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学习君cb

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
23楼: Originally posted by L小懒虫 at 2018-11-14 06:36:13
都有的，不要简单认为单个原子溅射，各种情况(原子团，离子，电子)都会有，只是改变工艺参数各种粒子的比例不一样而已

请问，我的溅射气压有什么方面的影响吗，比如0.1pa和4paAr，那个镀的更快

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24楼2018-11-15 11:22:01
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)
应该是后者
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25楼2018-11-15 14:42:32
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L小懒虫

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
24楼: Originally posted by 学习君cb at 2018-11-15 11:22:01
请问，我的溅射气压有什么方面的影响吗，比如0.1pa和4paAr，那个镀的更快
...

说起真空气压第一反应就是分子自由程，然后你就会分析了

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26楼2018-11-16 06:35:12
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hdchina20102楼
2018-11-13 23:45   回复  
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蒾蕗3楼
2018-11-13 23:46   回复  
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被堵4楼
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wxiaona5楼
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pandongzi6楼
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甄士隐2077楼
2018-11-13 23:51   回复  
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187722771328楼
2018-11-13 23:51   回复  
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eboater9楼
2018-11-13 23:55   回复  
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jbm梦逍遥10楼
2018-11-13 23:56   回复  
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guangnian11楼
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母猪会上树12楼
2018-11-14 00:00   回复  
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nono200913楼
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jixiangbao14楼
2018-11-14 00:03   回复  
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xhmaohan15楼
2018-11-14 00:12   回复  
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YueChuZeBei16楼
2018-11-14 00:14   回复  
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skhonor11517楼
2018-11-14 00:20   回复  
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SSD123418楼
2018-11-14 00:26   回复  
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dongmings19楼
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Zhanghuhu120楼
2018-11-14 00:59   回复  
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lmy-wy21楼
2018-11-14 01:30   回复  
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Triumph101122楼
2018-11-14 03:00   回复  
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