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学习君cb

至尊木虫 (知名作家)


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请教磁控溅射里关于共晶靶材的问题
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求虫友帮助,如果我做了一个两种金属(假如金属A和B)形成的AB共晶靶材,在溅射时,靶材上的金属粒子是以AB的成分一块溅射出来 ,还是A粒子和B粒子会分开溅射出来,在此散金求答

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L小懒虫

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都有的,不要简单认为单个原子溅射,各种情况(原子团,离子,电子)都会有,只是改变工艺参数各种粒子的比例不一样而已

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23楼2018-11-14 11:36:13
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学习君cb

至尊木虫 (知名作家)


引用回帖:
23楼: Originally posted by L小懒虫 at 2018-11-14 06:36:13
都有的,不要简单认为单个原子溅射,各种情况(原子团,离子,电子)都会有,只是改变工艺参数各种粒子的比例不一样而已

请问,我的溅射气压有什么方面的影响吗,比如0.1pa和4paAr,那个镀的更快

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24楼2018-11-15 11:22:01
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)


应该是后者
25楼2018-11-15 14:42:32
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L小懒虫

木虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
24楼: Originally posted by 学习君cb at 2018-11-15 11:22:01
请问,我的溅射气压有什么方面的影响吗,比如0.1pa和4paAr,那个镀的更快
...

说起真空气压第一反应就是分子自由程,然后你就会分析了

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26楼2018-11-16 06:35:12
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2018-11-13 23:45   回复  
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蒾蕗3楼
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被堵4楼
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wxiaona5楼
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pandongzi6楼
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eboater9楼
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guangnian11楼
2018-11-13 23:56   回复  
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2018-11-14 00:00   回复  
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nono200913楼
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jixiangbao14楼
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xhmaohan15楼
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skhonor11517楼
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SSD123418楼
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dongmings19楼
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Zhanghuhu120楼
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lmy-wy21楼
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