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问题(O_O)?
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问题(O_O)?
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磁控溅射Ni靶时,什么情况电压为0电流不为0,Ni靶2.5mm,第一次用6.4mm厚的电压可是很大有1000v
@
费姚永芬
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1楼
2018-11-13 16:37:15
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perry_ping
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专业: 无机合成和制备化学
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
如果电压为0电流不为0,靶材装短路了吧
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2楼
2018-11-13 16:51:24
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lqm070
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专业: 半导体光电子器件
二楼正解,难道把靶罩宁死了
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3楼
2018-11-13 19:59:10
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2楼
:
Originally posted by
perry_ping
at 2018-11-13 16:51:24
如果电压为0电流不为0,靶材装短路了吧
谢谢回答,我试试装过一次,我以前都是这样装的
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4楼
2018-11-20 19:52:38
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perry_ping
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专业: 无机合成和制备化学
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4楼
:
Originally posted by
15079273946
at 2018-11-20 19:52:38
谢谢回答,我试试装过一次,我以前都是这样装的
...
装完要测一下是否短路,不短路就可以了
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5楼
2018-11-21 07:54:42
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at2046
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注册: 2012-09-25
性别: GG
专业: 半导体晶体与薄膜材料
短路了。
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6楼
2019-01-14 10:13:48
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