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CVD法高温管式炉中氢气的安全性问题 已有6人参与
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管式炉高温下(750摄氏度)通氢气(10scccm),少掺杂一点氩气(5sccm)安全吗?谢谢了。 |
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漫洒特
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9楼2018-12-06 22:37:20
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2楼2018-11-12 22:53:11
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790521634
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