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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 【请教】磁控溅射永磁靶上能放铁靶镀膜吗
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bandaoti

[交流] 【请教】磁控溅射永磁靶上能放铁靶镀膜吗

磁控溅射永磁靶上能放铁靶镀膜吗

[ Last edited by wdwsnnu on 2009-8-4 at 23:33 ]
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1楼 2009-04-18 10:32:34
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liuhan

新虫 (初入文坛)
wdwsnnu(金币+0,VIP+0): 8-4 23:32
wdwsnnu(金币+0,VIP+0):？ 8-4 23:32
磁性材料是不行的
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2楼2009-08-04 20:49:06
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swws16

木虫 (小有名气)
★ ★
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wdwsnnu(金币+0,VIP+0): 8-4 23:32
wdwsnnu(金币+1,VIP+0): 8-4 23:33
为什么磁性材料不行？ 我镀过Ni，Co 磁性材料，记得是放在永磁靶上面的啊
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3楼2009-08-04 23:29:18
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chnoy

银虫 (小有名气)
应该是可以的
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4楼2009-08-05 10:25:09
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doublewei

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
可以。但是磁性材料和永磁靶会有耦合作用，这就会导致随着磁性靶材材料的消耗，Ar+经历的磁场不同，相同的溅射参数下出来的薄膜存在一定的差别，性能变化
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5楼2009-08-05 10:29:32
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天莱5

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
可以的，但是铁要很薄才行
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6楼2009-08-15 16:50:41
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yupo54

新虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
可以，靶材厚1mm左右。还有，可以将正对磁铁的位置车薄也可以
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7楼2009-08-20 15:55:35
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