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求问北京哪里可以用CH4和H2做RIE刻蚀？
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求问北京哪里可以用CH4和H2做RIE刻蚀？我想刻InP材料，打听了好久也没找到可以用氢气的开放刻蚀设备，求各位帮个忙 |
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