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汕头大学海洋科学接受调剂
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Serendipity-

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助

请教JGP-450磁控溅射制备TiAlN的一些问题,谢谢!!
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091820053

禁虫 (知名作家)

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2楼2018-11-05 08:34:47
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Serendipity-

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 091820053 at 2018-11-05 08:34:47
什么问题

用这个型号的机器制备TiAlN是用直流还是交流吗?还有一些重要的参数?
3楼2018-11-06 09:46:01
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091820053

禁虫 (知名作家)

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4楼2018-11-06 15:20:49
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Serendipity-

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 091820053 at 2018-11-06 15:20:49
用直流充氮气就可以了  ,靶材采用钛铝靶材 一般有三四种比例可选择,67/33  50/50    33/67...

每个设备的参数不一样。针对这设备靶材功率应该用多大的呢?谢谢
5楼2018-11-07 15:07:13
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091820053

禁虫 (知名作家)

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6楼2018-11-07 21:37:02
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at2046

铜虫 (初入文坛)

7楼2019-01-14 10:17:43
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