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光刻负胶su8-2000.5
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最近用su8-2000.5在做激光直写加工，想知道一下大致的工艺参数，匀胶的低速高速速度，时间；前烘温度时间，激光直写设备曝光用50倍镜头，曝光时间要多少；显影液用什么，显影时间大约多久；显影之后用什么清洗，清洗时间，求大牛告知 发自小木虫Android客户端 |
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