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光刻负胶su8-2000.5
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最近用su8-2000.5在做激光直写加工,想知道一下大致的工艺参数,匀胶的低速高速速度,时间;前烘温度时间,激光直写设备曝光用50倍镜头,曝光时间要多少;显影液用什么,显影时间大约多久;显影之后用什么清洗,清洗时间,求大牛告知 发自小木虫Android客户端 |









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