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新虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射金薄膜怎么使薄膜厚度在5-10nm? 已有2人参与

我用的直流溅射,问下详细的参数,衬底温度,建设气压,直流功率,溅射时间

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野人禾禾

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
恒定工艺参数后测沉积速率,然后改变沉积时间
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
2楼2018-10-31 10:29:57
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perry_ping

新虫 (职业作家)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
各个设备不同,参数不一样。没有太大参考价值。只能自己试试
3楼2018-11-06 09:09:22
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