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polaris953超级版主
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【求助】关于Si氧化的问题,急!
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| 想请教一下,Si氧化时一般是先通氮气,然后再通氧气进行氧化。想问一下这里的通入氮气的主要作用是什么?只是排空吗?是不是还有别的作用?要是不先通氮气,直接先通着氧气,这样不也能排空吗?他们之间有什么差别? |
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