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polaris953

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[交流] 【求助】关于Si氧化的问题，急！

想请教一下，Si氧化时一般是先通氮气，然后再通氧气进行氧化。想问一下这里的通入氮气的主要作用是什么？只是排空吗？是不是还有别的作用？要是不先通氮气，直接先通着氧气，这样不也能排空吗？他们之间有什么差别？

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1楼 2009-04-12 21:24:03

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