| 查看: 701 | 回复: 1 | ||
568977122铁杆木虫 (著名写手)
|
[求助]
求助90nm氧化层的硅片上溅射氧化铪做双介电层求助
|
| 我在90nm氧化层的硅片上溅射了20nm的氧化铪做双介电层，然后在上面剥离了二维材料，镀上电极做成了器件发现底部栅极对材料一点调控都没有，这是什么情况呢，求大神解惑！ |
回复此楼
2楼2019-01-16 19:21:05