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568977122

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] 求助90nm氧化层的硅片上溅射氧化铪做双介电层求助

我在90nm氧化层的硅片上溅射了20nm的氧化铪做双介电层,然后在上面剥离了二维材料,镀上电极做成了器件发现底部栅极对材料一点调控都没有,这是什么情况呢,求大神解惑!
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Imloser

新虫 (小有名气)

帮顶!!!!顺便问一下楼主,TFT能直接用整块硅片做栅极吗,文献中看到好像都是这样做的,但是我测试的时候,栅极一点调控作用都没有呀

发自小木虫Android客户端
2楼2019-01-16 19:21:05
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