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lianqing666

金虫 (小有名气)

[求助] 只看HAADF和EDX mapping的FIB-TEM样品是否需要减薄

我需要用FIB去提取一个样品放在TEM下面看。但是我不需要TEM投射图,只需要HAADF和EDX mapping。 HAADF和EDX Mapping是二次电子和x ray,没必要电子穿透过样品。 根据原理我觉得应该是不用减薄。但是不知道是否有人做过类似的。钙钛矿电池FIB-TEM 样品做HAADF 和 EDX mapping。有实验经验的请给一点建议,谢谢。
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

2楼2018-10-20 18:00:53
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maoduancrv

铜虫 (初入文坛)

减薄是需要的,只是不宜太薄,太薄的话做mapping时CPS太低了,遇到这种问题我一般会把用FIB切成两部分,一半厚一半薄,薄的区域做高分辨,厚的区域做EDS。
3楼2018-11-18 21:59:12
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