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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射铁镓合金
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天无霜1234

铁虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射铁镓合金已有1人参与

诸位大佬。小弟最近在做直流磁控溅射铁镓合金。合金纯度99.95。3mm厚。50.8mm直径。用的是kurt lesker PVD75仪器。
试过好多次。无法起辉。无论加多少瓦特。仪器每次显示4到6瓦。电压在900多V。电流则很小。
用高斯计测过无靶材的磁场强度大概在0.2T左右。有一小部分区域数值显示很低在0.1T左右。都是在离物体1mm左右距离测得。加靶材的磁场大小在溅射区域是10-15mT。靶材中心区域在5mT左右。腔体气压大约在10负五次方到负六之间。 正常通氩气后在10mTorr左右。调节过氩气量还是没法起辉。
用Sb则是很容易正常起辉。
想问下各位大佬。有什么建议或办法让铁镓起辉。kurt 建议是用1。5mm厚的靶。说实话割了不好使的话太费时间了。通过学校买靶材要好长时间。
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1楼2018-10-18 18:55:34
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天无霜1234

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 王龙权 at 2018-10-20 06:05:01
可以开射频电源试试

没法啊。射频电源那个磁钢磁性太低

发自小木虫Android客户端
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8楼2018-10-22 18:30:45
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
2楼2018-10-18 19:03:55
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天无霜1234

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 091820053 at 2018-10-18 19:03:55
我们这边提供靶材的话大概5天时间就可以了

老哥别光顾着推销啊。有啥办法或者建议让它起辉吗？
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3楼2018-10-18 19:18:25
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king.jin

新虫 (小有名气)
氩气加到15，试试

发自小木虫IOS客户端
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4楼2018-10-19 12:08:14
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