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氮气和氧气哪个更容易形成plasma？
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氮气和氧气哪个更容易形成plasma？ PR ASH时通常在O2中添加N2，有种说法是N2更易形成Plasma，N2形成Plasma后，会把能量传递给O2，从而加大O2的电离程度，不知这种说法对吗，还请各位大神解答，感激不尽  |
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