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氮气和氧气哪个更容易形成plasma?
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氮气和氧气哪个更容易形成plasma? PR ASH时通常在O2中添加N2,有种说法是N2更易形成Plasma,N2形成Plasma后,会把能量传递给O2,从而加大O2的电离程度,不知这种说法对吗,还请各位大神解答,感激不尽 ![]() |
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