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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 磁控溅射无机膜镀在石英玻璃上，xrd分析不到
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圣埃蒂安M

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射无机膜镀在石英玻璃上，xrd分析不到 已有2人参与

磁控溅射无机膜镀在石英玻璃上，厚度70nm左右。使用xrd测试只有玻璃衬底的峰，镀膜后结合力很大，粉末刮不下来。改变掠射角度不行，做对比也不行，更换衬底的话，什么样的能测。求助各位方法

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1楼 2018-10-10 09:42:46
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sxll

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
XRD测试深度本身很浅，70纳米已经足够，没有衍射峰应该是没有晶体，想检测镀层的话，估计SEM加能谱比较合适。
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3楼2018-10-11 09:55:19
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guxue

专家顾问 (知名作家)

学习使人进步

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
虽然溅射成膜了，但可能是非晶，所以探测不到。也有可能是结晶度不够，显示不出来了。建议处理XRD数据时，将纵坐标的上限值缩小，看看有没有峰出现。也许强度值在100左右就会出现。
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青出于蓝而胜于蓝
2楼2018-10-10 09:55:42
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