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三甲基氯硅烷能不能直接进气相？
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这类容易水解的氯硅烷物质，能不能直接进气相？ 发自小木虫Android客户端 |
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huangfz: 金币+5 2018-10-14 11:12:35
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huangfz: 金币+5 2018-10-14 11:12:35
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没有问题。不但能进，而且是常用的清理高沸点有机酸，有机醇沉积的手段。不过需要注意你的TMS的纯度，如果里面有水解产生的HCl就不好了。 发自小木虫Android客户端 |
2楼2018-10-07 23:01:00
wy19871124
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6楼2018-10-08 22:05:31
