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关于XPS定量分析的偏差
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在查找关于XPS定量分析的偏差的文章，看到有一些人说XPS定量分析误差很大。很多人都知道XPS是表面分析手段，理论上只能给出表面以下10纳米（实际上大概3纳米，与材料有关系）区域的元素信息，再深的信息因为光电子无法逃逸出来被检测器检测到，所以无法测深层次信息。 然而，我们不能说测出来元素信息与实际不一致就说这种定量不准确，在做出这种判断之前必须先确定适用于XPS分析的材料在这个10纳米范围是绝对均一的，找到这种物质本身比较困难，合成的材料在10纳米范围内存在元素偏析的可能性就更不用说了，个人猜想可以用具有严格计量比的离子晶体化合物，比如氯化钠晶体去做钠含量的检测，应该不会有太大的误差的。 |
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