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Imloser

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[求助] TFT电极掩膜版已有1人参与

有哪位大佬教一下TFT电极应该怎么做，那个掩膜版应该做成什么图案呀

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烦躁已经有5人回复

1楼 2018-10-01 10:38:10

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Imloser

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自顶

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2楼2018-10-06 22:12:27

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babangida

铜虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
Imloser: 金币+30, ★★★很有帮助 2019-01-10 17:40:52

看你怎么做了，如果用现成的带氧化层的硅片，直接做成两个带间距的方块，随便做多少个，间距也可以不一样
如果在从栅极开始都要自己做，需要画多个掩模板，注意：栅极、绝缘层面积要比沟道区域稍大，别太大否则就有栅漏电

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3楼2018-10-25 12:37:28

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苯环上羟基

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性别: GG
专业: 化学反应工程

看下MOS结构就可以了。

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4楼2019-01-13 08:51:51

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Z780283717

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引用回帖:

3楼: Originally posted by babangida at 2018-10-25 12:37:28
看你怎么做了，如果用现成的带氧化层的硅片，直接做成两个带间距的方块，随便做多少个，间距也可以不一样
如果在从栅极开始都要自己做，需要画多个掩模板，注意：栅极、绝缘层面积要比沟道区域稍大，别太大否则就有 ...

请问大佬，为啥栅极太大的话会导致栅极漏电呀

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5楼2024-03-01 10:16:08

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