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fancy方知

新虫 (小有名气)

[求助] EDS光斑分辨率

各位小伙伴,跪求
EDS光斑分辨率怎么知道,跟仪器型号有关吗?
EDS光斑有多大呢?
EDS测试元素含量误差在多少呢?

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sqchem

新虫 (著名写手)

2楼2018-09-28 16:33:56
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sqchem

新虫 (著名写手)

eds可以在sem不同倍率下分析,最小倍率30倍左右吧?(不同仪器可能不同),最大倍率就可以很大了(我一般用1000倍至10000倍,当然还可以更加大)

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3楼2018-09-28 16:35:36
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sqchem

新虫 (著名写手)

eds属于浅层表层分析,分析深度与电子束的能亮有关,我觉得误差5%…………非专业人员回答

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4楼2018-09-28 16:37:26
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