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guoxingnann

新虫 (小有名气)

[交流] 碱液腐蚀多晶硅 已有1人参与

在碱抛的时候怎么控制腐蚀速率呢,硅表面金字塔的大小可以通过腐蚀速率调控吗,求大神指点

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MEMSlee

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3楼2018-09-26 21:45:14
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guoxingnann

新虫 (小有名气)

查了一些文献,对比这做了些,都不太对啊

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2楼2018-09-26 21:37:32
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guoxingnann

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by MEMSlee at 2018-09-26 21:45:14
可以的

大神可否说稍详细点

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4楼2018-09-27 08:20:01
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