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winterbai

木虫 (初入文坛)

[交流] 有没有人知道氩离子刻蚀GaN 的速率是多少, 与Ta2O5 相比 已有1人参与

如题, 谢谢!
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zsnano

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
功率260w,氩气流量30sccm,10min,刻蚀深度为2.86um

发自小木虫Android客户端
2楼2018-09-26 09:45:39
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winterbai

木虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zsnano at 2018-09-26 09:45:39
功率260w,氩气流量30sccm,10min,刻蚀深度为2.86um

多谢zsnano,跟加速电压是多少keV有关吗?还有会不会对GaN 造成损伤?
3楼2018-09-27 08:21:20
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