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木虫 (初入文坛)

[交流] 有没有人知道氩离子刻蚀GaN 的速率是多少，与Ta2O5 相比已有1人参与

如题，谢谢！

1楼 2018-09-26 07:46:07

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金虫 (正式写手)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

功率260w，氩气流量30sccm，10min，刻蚀深度为2.86um

发自小木虫Android客户端

2楼2018-09-26 09:45:39

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木虫 (初入文坛)

引用回帖:

2楼: Originally posted by zsnano at 2018-09-26 09:45:39
功率260w，氩气流量30sccm，10min，刻蚀深度为2.86um

多谢zsnano，跟加速电压是多少keV有关吗？还有会不会对GaN 造成损伤？

3楼2018-09-27 08:21:20

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