| 查看: 629 | 回复: 1 | |||
[交流]
关于刻蚀废气的处理设备运行问题已有1人参与
|
|
大家好！ 由于是新人，很抱歉没有什么金币，如果交流ok的话，我们可以私下再交流。 公司这边由我负责上游排放的尾气处理，废气主要是一些常用的刻蚀气体（硅烷、磷烷等），用的是pou设备，设备用到的处理工艺是plasma+喷淋的方式， 结果处理后出现很多粉尘，极其容易堵塞排水管道，不定期拆开后就堆积了很多，本来50的水管，最后只有几公分粗了，甚至设备里面的一些管路也会堵塞，造成较大的麻烦。 特来询问大佬，你们对于该废气处理，用的是什么设备和其工艺呢？有出现排水管路堵塞的情况吗，怎么控制解决的？ 不甚感激！！！  中秋节快乐！！！ |
回复此楼» 猜你喜欢
华东师范大学 程义云 课题组招2026年博士研究生 - 有机化学、材料化学、高分子合成等
已经有23人回复
-
dspe-br合成请教
已经有0人回复
-
高分子科学论文润色/翻译怎么收费?
已经有140人回复
-
天津工业大学招高分子化学或有机合成方向的博士和博士生
已经有0人回复
-
天津工业大学郑柳春招高分子化学或有机合成方向的博士生
已经有0人回复
-
天津工业大学郑柳春招有博士生
已经有0人回复
-
天津工业大学长期郑柳春招化学化工、高分子化学或有机合成方向的博士
已经有0人回复
-
天津工业大学郑柳春团队长期招化学化工、高分子化学或有机合成方向的博士生
已经有0人回复
-
天津工业大学郑柳春团队长期招化学化工、高分子化学或有机合成方向的博士生
已经有0人回复
-
同济大学张海军教授2026年度博士招生
已经有1人回复
-
同济大学张海军教授2026年度博士招生
已经有0人回复
2楼2019-04-17 22:34:29