[交流] 关于刻蚀废气的处理设备运行问题 已有1人参与

大家好！ 由于是新人，很抱歉没有什么金币，如果交流ok的话，我们可以私下再交流。 公司这边由我负责上游排放的尾气处理，废气主要是一些常用的刻蚀气体（硅烷、磷烷等），用的是pou设备，设备用到的处理工艺是plasma+喷淋的方式， 结果处理后出现很多粉尘，极其容易堵塞排水管道，不定期拆开后就堆积了很多，本来50的水管，最后只有几公分粗了，甚至设备里面的一些管路也会堵塞，造成较大的麻烦。 特来询问大佬，你们对于该废气处理，用的是什么设备和其工艺呢？有出现排水管路堵塞的情况吗，怎么控制解决的？ 不甚感激！！！ 中秋节快乐！！！

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