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yqf512xpok木虫 (小有名气)
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真空度对SEM样品的影响大不大？
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| 文章审回来，审稿人提出了一个疑问，图abc三个扫描电镜图的真空度分别是1.11*e-003Pa，4.46*e-004Pa和4.46*e-004Pa，审稿人的疑问是这三个图还能放在一起比较么？真空度对扫描电子显微镜呈现的图影响大不大？请教各位，谢谢！ |
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gxytju2008
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2楼2018-09-19 19:50:04
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3楼2018-09-19 23:47:20
qfw_68
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【答案】应助回帖
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yqf512xpok: 金币+45, ★★★★★最佳答案, 非常感谢 2018-09-20 11:52:37
yqf512xpok: 金币+45, ★★★★★最佳答案, 非常感谢 2018-09-20 11:52:37
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这样回复：即使按真空度1.11*e-003Pa（即8.3e-6 Torr）计，其SEM真空腔内的分子平均自由程也高达600cm，该值远远大于测试时的工作距离（自己补值），故测试时的电子束近乎无散射地直接入射到样品表面，因此1.11*e-003Pa的气压对SEM测试的影响可忽略不计，更不用说更高的真空度了。 实际上，对于一些液体样品，在10Pa到1Pa的气压下都是可以测量的。 1e-5 Torr，分子平均自由程为500cm，参见： https://wenku.baidu.com/view/683dae035acfa1c7aa00ccf5.html |
4楼2018-09-20 08:24:26
