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sherwzy

新虫 (小有名气)

[求助] ALD生长问题

在ALD(原子层沉积)的 一篇综述中关于压力对材料生长的影响时 提到“high inert gas(carrier gas) pressures can also thermodynamically stablize adsorbates that would otherwise desorb at lower pressures."这里高的载气气压在热力学上会对吸附物有一个稳定的作用应该如何去理解
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zhilantian

木虫 (小有名气)

能把这篇综述文章分享一下吗?是试验类?理论计算类?
2楼2018-09-27 12:18:28
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lassie0323

新虫 (初入文坛)

载气与前驱体进入反应腔中,腔室压力变大,前驱体与基材表面的吸附变强,足够的exposure time后,泵开了,腔室压力下降,同时多余的大分子被抽走 。
3楼2018-11-24 12:22:39
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