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ALD生长问题
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| 在ALD(原子层沉积)的 一篇综述中关于压力对材料生长的影响时 提到“high inert gas（carrier gas） pressures can also thermodynamically stablize adsorbates that would otherwise desorb at lower pressures."这里高的载气气压在热力学上会对吸附物有一个稳定的作用应该如何去理解 |
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