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L小懒虫

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[交流] 不同Ti含量掺杂DLC涂层制备实验设计

没有磁过滤装置，在多弧离子镀设备上制备不同Ti含量掺杂DLC涂层，增加靶材电流的话，会增加液滴产生概率，影响涂层的性能，增加靶材通电时间的话，掺杂就不均匀了。磁控溅射也有同样的问题，有没有知道的学长指点一下，谢谢！

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1楼 2018-09-12 12:55:22

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