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L小懒虫

木虫 (著名写手)

[交流] 不同Ti含量掺杂DLC涂层制备实验设计

没有磁过滤装置,在多弧离子镀设备上制备不同Ti含量掺杂DLC涂层,增加靶材电流的话,会增加液滴产生概率,影响涂层的性能,增加靶材通电时间的话,掺杂就不均匀了。磁控溅射也有同样的问题,有没有知道的学长指点一下,谢谢!

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