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关于等离子体的问题
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问，气体放电的什么阶段开始产生等离子体？ 气体放电分为暗放电，辉光放电，电弧放电三个过程，一般采用等离子体增强化学气相沉积的实验过程中用的是等离子体辉光放电的过程，那我想问气体放电的哪一个阶段开始产生等离子体的呢？还是从气体放电开始就已经产生了等离子体？ 发自小木虫IOS客户端 |
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