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浮尘Zi

新虫 (小有名气)

[交流] 求能刻蚀ITO-PET导电膜的厂家 已有2人参与

我在做PET衬底的ITO刻蚀,用了湿法,发现ITO层和光刻胶在酸溶液中会一起脱落,估计湿法刻蚀是不行了,就想问问有没有能做干法刻蚀的厂家(等离子体刻蚀或激光刻蚀都可以),我需要将ITO导电层刻成周期性的线栅结构,要求线宽在20um之内,线间距不大于15um,麻烦知道的大佬回复下,谢谢

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pumnns

铜虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我们是用真空等离子刻蚀机做ITO和PET的PLASMA处理,亲水性提升粉明显,导电率和迁移率都有提升,用的是广州善准的VP-R系列
2楼2020-07-29 18:30:06
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babyoflion

金虫 (著名写手)

湿法腐蚀应该不会脱胶啊,工艺没处理好吧

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3楼2020-07-31 12:22:37
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