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请问一下,n型GaAs蒸发AuGeNi时各层之间的具体参数是什么?
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| 请问一下,n型GaAs蒸发AuGeNi做欧姆接触时,Au、Ge、Ni这几层在蒸发时的顺序是什么?三者的厚度比一般情况下是多少?在后续的快速热退火时的退火温度与时间分别是多少?谢谢! |
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