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mojiaomomo新虫 (初入文坛)
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莱宝光学镀膜机膜料喷溅问题
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莱宝光学镀膜机镀硅料老是喷溅是什么原因呢？镀膜系要镀7微米硅料，一开始一次性镀完，中间过程发生喷溅现象。后来分两次镀，一次镀3.5微米，第一次镀完不喷溅，中间熔好硅料之后再镀，就发生喷溅现象，样品上有小颗粒膜料，这是什么原因呢？ 发自小木虫Android客户端 |
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2楼2018-08-29 05:51:23
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你好，我是用电子束蒸发硅料的，膜料是放在下面有水冷的铜坩埚里的。这是什么原因造成喷溅呢，是因为膜料温度太高了吗？（有一层是直接镀2微米硅，从这一层开始往后就发生喷溅了） 发自小木虫Android客户端 |
3楼2018-08-30 08:46:45
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喷溅是由于内部压力较大于外部压力造成的，电子束功率过高，靶材中含有杂物以及硅靶材表面电荷堆积造成放电局部温度上升也会造成喷溅。除了靶材中有杂物，其他两个都可以降低电子束功率改善。减少炉腔中的含氧物质也很重要 发自小木虫IOS客户端 |
4楼2018-08-30 10:33:13
