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水冰解解

新虫 (小有名气)

[求助] czts-zns/sns/cu顺序溅射后退火、硫化薄膜脱落

czts-zns/sns/cu顺序溅射后退火、硫化薄膜脱落

退火后薄膜脱落或薄膜裂开

硫化后整体脱落

做czts一年了，之前用的别的靶溅射从未有上述现象，现在用这三个靶的溅射顺序，存在脱落。


求教是什么原因呢？
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1楼2018-08-25 21:56:12
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