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czts-zns/sns/cu顺序溅射后退火、硫化薄膜脱落
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czts-zns/sns/cu顺序溅射后退火、硫化薄膜脱落 退火后薄膜脱落或薄膜裂开 硫化后整体脱落 做czts一年了,之前用的别的靶溅射从未有上述现象,现在用这三个靶的溅射顺序,存在脱落。 求教是什么原因呢? |
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薄膜制备与特性 |
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