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夜凉如水

金虫 (正式写手)

[交流] 如何净化氩气

每次做离子溅射后,系统的真空度都会变差,怀疑虽然是5的9的Ar,但还是不纯,怎么净化呢?Ar(-187C),和又很液氮温度很接近。
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workinghard

银虫 (小有名气)


zhangwengui330(金币+1,VIP+0):谢谢应助!!! 4-4 00:18
2楼2009-04-03 21:39:58
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夜凉如水

金虫 (正式写手)

谢谢楼上的,我们是打算自己弄个冷阱什么的净化一下的,氩气虽然经常用,但用量比较少。
3楼2009-04-04 22:41:26
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