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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 高气压下如何沉积薄膜
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XSM815498719

铁虫 (小有名气)

[求助] 高气压下如何沉积薄膜

一般的PVD都是在低工作气压下（1Pa以下），来沉积薄膜。那么，如何在高气压下（100 Pa-150 Pa）实现薄膜的沉积呢？ 如果可行，高气压下沉积的薄膜的质量如何，如何去提升这种薄膜的质量？ 谢谢！
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涂层开发工程师，微信xsm815498719
1楼 2018-08-21 19:41:05
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不要这样叫我

铁虫 (著名写手)
喷涂可以不，好像有些喷涂都是在常压下进行的

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2楼2018-08-22 07:55:23
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XSM815498719

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 不要这样叫我 at 2018-08-22 07:55:23
喷涂可以不，好像有些喷涂都是在常压下进行的

可是喷涂出来的涂层都很厚

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涂层开发工程师，微信xsm815498719
3楼2018-08-22 14:36:04
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不要这样叫我

铁虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by XSM815498719 at 2018-08-22 14:36:04
可是喷涂出来的涂层都很厚
...

是的，一般都比较厚，而且涂层质量不是很好，我做的双辉，气压可以到四五十帕，厚度不大，你可以了解一下

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4楼2018-08-22 19:33:24
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XSM815498719

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 不要这样叫我 at 2018-08-22 19:33:24
是的，一般都比较厚，而且涂层质量不是很好，我做的双辉，气压可以到四五十帕，厚度不大，你可以了解一下
...

请问下双辉是什么？
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涂层开发工程师，微信xsm815498719
5楼2018-08-22 19:54:36
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不要这样叫我

铁虫 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by XSM815498719 at 2018-08-22 19:54:36
请问下双辉是什么？...

双层辉光等离子体冶金技术，是太原理工的徐重教授发明的一种表面合金化技术

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6楼2018-08-22 23:41:19
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