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XSM815498719铁虫 (小有名气)
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高气压下如何沉积薄膜
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| 一般的PVD都是在低工作气压下（1Pa以下），来沉积薄膜。那么，如何在高气压下（100 Pa-150 Pa）实现薄膜的沉积呢？ 如果可行，高气压下沉积的薄膜的质量如何，如何去提升这种薄膜的质量？ 谢谢！ |
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