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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 求助：背向散射电镜怎么做？
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wfyuan1975

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 求助：背向散射电镜怎么做？ 已有1人参与

各位好，哪位了解背向（scattered）散射电镜技术？跟普通的SEM有什么区别？是否需要特殊的电镜进行分析？谢谢解答！
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1楼 2018-08-21 19:24:16
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
只是个探测器不同而已，没啥特别的

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wfyuan1975
2楼2018-08-21 23:45:53
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夕阳的刻痕1

新虫 (正式写手)
场发射的就可以，只是用背散射电子成像而已

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wfyuan1975
3楼2018-08-22 00:43:50
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wfyuan1975

铁杆木虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2018-08-21 23:45:53
只是个探测器不同而已，没啥特别的

谢谢！
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4楼2018-08-22 08:13:16
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wfyuan1975

铁杆木虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
3楼: Originally posted by 夕阳的刻痕1 at 2018-08-22 00:43:50
场发射的就可以，只是用背散射电子成像而已

谢谢！
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5楼2018-08-22 08:13:29
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泡炮

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

常见的背散射成像大致分为两种设备，一种是直接利用背散射电子成像，主要分析样品的成份（和原子序数有关），在很多SEM上都配备有这个探头，一般称为BSE；另一种是利用背散射电子衍射成像，可获得晶体结构信息，做织构分析蛮多都会用到，一般称为EBSD，不是很常见的探头。
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6楼2018-10-12 14:46:32
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