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luobingchi

新虫 (小有名气)


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谁能解释,基片镀膜被打毛的现象?
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谁能解释,在玻璃基片镀膜,溅射气压越高,基片越容易打毛。
镀膜的靶基间距,溅射功率不变,只改变溅射气压。
从磁控电源电压,电流显示来看,溅射气压增加,电流增加,电压略微增加。

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L小懒虫

木虫 (著名写手)



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方便的话上张图片,不然没法看到实物,对打毛的理解不一样。气压升高,电流增加,说明碰撞得到的离子增加了,碰撞次数增加,带电粒子到达基体的能量减少,不足以将结合不好的粒子轰击下来,造成涂层粗糙。

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12楼2018-08-21 23:05:17
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luobingchi

新虫 (小有名气)


打毛的玻璃片,用手摸比较粗糙。打毛玻璃片,斜着看,有许多小坑。

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13楼2018-08-25 20:06:16
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2018-08-21 18:24   回复  
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pandongzi4楼
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xue123xin5楼
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tzynew6楼
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ai-potato8楼
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ward9楼
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Thomas_Lo10楼
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ljf201211楼
2018-08-21 18:37   回复  
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