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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 谁能解释，基片镀膜被打毛的现象?
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luobingchi

新虫 (小有名气)
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谁能解释，基片镀膜被打毛的现象?
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谁能解释，在玻璃基片镀膜，溅射气压越高，基片越容易打毛。
镀膜的靶基间距，溅射功率不变，只改变溅射气压。
从磁控电源电压，电流显示来看，溅射气压增加，电流增加，电压略微增加。

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1楼 2018-08-21 18:24:14
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L小懒虫

木虫 (著名写手)
★
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方便的话上张图片，不然没法看到实物，对打毛的理解不一样。气压升高，电流增加，说明碰撞得到的离子增加了，碰撞次数增加，带电粒子到达基体的能量减少，不足以将结合不好的粒子轰击下来，造成涂层粗糙。

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12楼2018-08-21 23:05:17
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luobingchi

新虫 (小有名气)
打毛的玻璃片，用手摸比较粗糙。打毛玻璃片，斜着看，有许多小坑。

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13楼2018-08-25 20:06:16
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upc加油中国2楼
2018-08-21 18:24   回复  
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hdchina20103楼
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pandongzi4楼
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xue123xin5楼
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tzynew6楼
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zhao1842347楼
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ai-potato8楼
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ward9楼
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Thomas_Lo10楼
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ljf201211楼
2018-08-21 18:37   回复  
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